论文部分内容阅读
在室温状态下，采用磁控溅射法在PET纤维上制备了Ag膜、ZnO膜和ZnO／Ag／ZnO多层膜，运用原子力显微镜（AFM）对纳米结构薄膜的表面形貌进行观察，并对导电特性进行测试。结果表明，随着Ag膜厚度从10nm增加到20nm，Ag膜的致密性和均匀性变好；在纤维表面和ZnO膜表面生长相同厚度的Ag膜，其表面形貌不同，在ZnO薄膜表面生长的Ag膜比在纤维表面生长的Ag膜均匀性好，Ag颗粒更大，颗粒的匀整性也更好；同样，在纤维表面和Ag膜表面生长相同厚度的ZnO膜，其表面形貌也不同。多层膜的电阻随着Ag膜厚度的