【摘 要】
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二次离子质谱仪(SIMS)是表面分析中应用最广泛的技术之一。它的特点是高灵敏度(最低可探测浓度为ppm￣ppb数量级)和高分辨率(大约10!)。由于半导体材料的特殊性,即其电学特性是
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二次离子质谱仪(SIMS)是表面分析中应用最广泛的技术之一。它的特点是高灵敏度(最低可探测浓度为ppm￣ppb数量级)和高分辨率(大约10!)。由于半导体材料的特殊性,即其电学特性是由微量元素所决定的,在掺杂、沾污等测量分析中SIMS已成为不可替代的手段。本文将对SIMS的原理及应用进行较为详细的介绍。
Secondary ion mass spectrometry (SIMS) is one of the most widely used techniques in surface analysis. It features high sensitivity (minimum detectable ppm ppmpp) and high resolution (approx 10!). Due to the particularity of the semiconductor material, that is, its electrical characteristics are determined by the trace elements, SIMS has become an irreplaceable means in the measurement and analysis of doping and contamination. This article will SIMS principle and application of a more detailed introduction.
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