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在二次离子质谱分析过程中,如果在一次离子所轰击的样品表面附近存在金属铯(Cs)的原子,则将引起二次负离子产额的提高。尤其是Ⅵ族元素以及位于元素周期表右端的那些元素,铯原子的存在,可以使它们的负离子产额高于存在氧时的正离子产额。因此,利用铯作为一次离子源,可以提高这些元素的二次离子质谱分析极限。本文对IMS-3f型离子探针使用的133型铯离子源的结构和原理作一简介。