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本文针对大数值孔径衍射透镜工艺制作难问题，以菲涅耳衍射透镜为例，研究了相位匹配原理并提出了一种优化设计二元大数值孔径衍射镜的方法，在菲涅耳衍射透镜原理的基础上，确定了优化设计多相位台阶衍射透镜的结构参数，并给出了一个设计实例，最后对结果元件的衍射效率进行了分析与讨论。
大数值孔径衍射透镜的优化设计方法
【摘 要】
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本文针对大数值孔径衍射透镜工艺制作难问题，以菲涅耳衍射透镜为例，研究了相位匹配原理并提出了一种优化设计二元大数值孔径衍射镜的方法，在菲涅耳衍射透镜原理的基础上，确定了优
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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1998年5期
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