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本文结合笔者的科研,论述了离子注入在Power MOS FET制作中的应用,并指出:由于离子注入较之扩散具有一系列优点,因此,离子注入不仅在制作Power MOS FET中作用巨大,而且在其他功率器件中的应用也将越来越广泛。
离子注入在Power MosFET中的应用
【摘 要】
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本文结合笔者的科研,论述了离子注入在Power MOS FET制作中的应用,并指出:由于离子注入较之扩散具有一系列优点,因此,离子注入不仅在制作Power MOS FET中作用巨大,而且在其他
【机 构】
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浙江大学功率器件研究所,浙江大学功率器件研究所杭州310008,杭州310008,杭州310008
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1991年3期
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