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研究了一种基于硅悬臂梁谐振器的新型气体传感器．该传感器在敏感环境中，可同时获得敏感膜电导率和质量变化，测量被测气体分子的荷质比，具有高灵敏度和高选择性．根据这一原理，针对气体传感器的需求，设计了硅悬臂梁谐振器化学传感器结构。进行了仿真优化，并采用MEMS表面牺牲层工艺制备该器件，激光频率仪测量验证了该微型谐振梁的谐振频率．