【摘 要】
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针对浸没式光刻机高精度的测量需求,采用平面光栅为测量标尺,分析推导了一种位移测量模型.通过建立光栅与四个读头之间的相对位移关系,验证分析了不同读头组合在全行程运动范
【机 构】
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桂林电子科技大学电子工程与自动化学院,广西桂林541004上海微电子装备(集团)股份有限公司,上海201203;桂林电子科技大学电子工程与自动化学院,广西桂林,541004;上海微电子装备(集团)股份
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针对浸没式光刻机高精度的测量需求,采用平面光栅为测量标尺,分析推导了一种位移测量模型.通过建立光栅与四个读头之间的相对位移关系,验证分析了不同读头组合在全行程运动范围内解算各自由度的误差,并在此基础上设计了工件台在不同运动轨迹下切换解算自由度读头组合方案.验证结果表明,工件台在全行程范围内运动时,Z向自由度的最大解算误差为2.650 nm,旋转自由度的最大解算误差为7.753 nrad,XY向自由度基于读头组合切换方案的最大解算误差低于0.5 nm.
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