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用MOVPE方法外延生长Si掺杂的立方相GaN
用MOVPE方法外延生长Si掺杂的立方相GaN
来源 :发光学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sumriver
【摘 要】
:
用MOVPE方法采取一种两步生长过程生长了未掺杂和Si掺杂的GaN.在生长了一个20nm厚的缓冲层后,外延生长了1μm厚的立方GaN外延层.利用二次离子质谱测定了掺杂的程度.并用X射线
【作 者】
:
WU Jun ZHAO F H Ito Y Yoshida
【机 构】
:
GraduateSchoolofFrontierScience
【出 处】
:
发光学报
【发表日期】
:
2001年z1期
【关键词】
:
Si掺杂GaN
MOVPE
光致发光特性
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用MOVPE方法采取一种两步生长过程生长了未掺杂和Si掺杂的GaN.在生长了一个20nm厚的缓冲层后,外延生长了1μm厚的立方GaN外延层.利用二次离子质谱测定了掺杂的程度.并用X射线衍射和光致发光测量来表征了未掺杂和Si掺杂GaN的结构和光学质量.
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