论文部分内容阅读
采用溶胶-凝胶法在云母（001）衬底表面制备氧化钒薄膜,然后通过高温退火获得VO2多晶膜。利用SEM、FTIR等手段,分析不同退火升温速率条件下所制备薄膜的微观形貌、光学性能和热致相变特性。结果表明：在退火升温速率为8℃/min时,所制备的VO2薄膜具有最优异的热致相变特性,相变温度为65℃,滞后温宽为10℃。