论文部分内容阅读
通过对晶圆清洗过程中常用抖动机构的分析,将其等效为偏心曲柄-滑块机构。建立数学模型,分别推导出曲柄的角位移、角速度、角加速度和滑块的位移、速度、加速度,并应用MATLAB软件进行仿真,得到了滑块的位移、速度及加速度曲线。
基于MATLAB的升降式抖动机构运动仿真
【摘 要】
：
通过对晶圆清洗过程中常用抖动机构的分析,将其等效为偏心曲柄-滑块机构。建立数学模型,分别推导出曲柄的角位移、角速度、角加速度和滑块的位移、速度、加速度,并应用MATLAB
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2015年12期
其他文献
水资源是一项基础性的自然资源,是市场经济的飞速发展和工农业生产正常运行的基本保障。结合当地水资源的实际发展状况,对水资源的可持续利用与水资源的管理进行分析,实现当
舟山市秀山大桥为主跨926m的三跨连续弹性支承体系悬索桥,其官山侧和秀山侧均采用重力式锚碇、分布传力式锚固系统。锚体设计采用前、后趾分离的三角造型,左、右幅支墩采用不
互联网技术的迅速发展给教学带来了新的形式。在"互联网+"这种崭新的背景下,传统课堂教学模式已不能满足学生对知识的获取需求。利用"互联网+"的中职语文口语交际教学模式能
据悉，我国首个超深高含硫生物礁大气田——元坝气田正式投产。一期2014年底建成年产17亿立方米净化天然气产能，二期产能将翻一番，到2015年底全面建成后，年产将达34亿立方米。
《惟有孟母可作女范》是周作人的一篇重要佚文。该文一反"五四"新文化的主流,将一位儒家旧女性孟母树立为女性的典范。这篇佚文既显示出周作人独特的理想女性观和家庭教育观,
2005年汇率改革之后,人民币持续升值,而与汇率息息相关的国际收支并没有受到汇率变动的影响,国民经济也没有遭受重创。这一与传统汇率传导理论相悖的现象引起了我们的关注。