【摘 要】
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较全面地介绍了微电子工艺模拟及半导体器件模拟的ＰＣ实用系统和有关应用方面的研究，特别是ＳＵＰＲＥＭ（微电子集成电路工艺模拟系统）同ＳＥＤＡＮ（半导体器件特性模拟系统）的接口联机模拟，极大地增强了模拟
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较全面地介绍了微电子工艺模拟及半导体器件模拟的ＰＣ实用系统和有关应用方面的研究，特别是ＳＵＰＲＥＭ（微电子集成电路工艺模拟系统）同ＳＥＤＡＮ（半导体器件特性模拟系统）的接口联机模拟，极大地增强了模拟信息量，最大限度地实施了以上两系统的模拟功能。
More comprehensive introduction of the microelectronics process simulation and semiconductor device simulation of PC practical systems and related applications, especially SUPREM (microelectronic integrated circuit technology simulation system) and SEDAN (semiconductor device characteristics simulation system) interface on-line simulation, Greatly enhanced the amount of analog information, to maximize the implementation of the above two system simulation capabilities.
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