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薄膜热电偶具有体积小、操作简便、准确度高等优点,在精确测温领域显出了极大优势。采用磁控溅射法生产的热电偶在材料组合上几乎是无限的。本文对Ni CrNi Si薄膜热电偶、Ni Cr SiNi Si Mg薄膜热电偶静态下的重复性、使用寿命、温度上限等进行对比、分析,以便在使用中可以更好地＂因地制宜＂。与大连某高校制作的薄膜热电偶进行对比试验,验证制作工艺对薄膜热电偶性能的重要影响。薄膜热电偶作为一种新型热电偶,在发动机叶片等特殊部件表面测温领域具有广泛的应用前景。