【摘 要】
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采用光度法以及椭圆偏振法测量技术对掺有贵金属或过渡金属元素的SnO2薄膜以及在不同%P%-{O2}/%P%-{Ar}比条件下制备的VOx系列的薄膜进行了系统的光学气敏特性测试.比较了各
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,
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采用光度法以及椭圆偏振法测量技术对掺有贵金属或过渡金属元素的SnO2薄膜以及在不同%P%-{O2}/%P%-{Ar}比条件下制备的VOx系列的薄膜进行了系统的光学气敏特性测试.比较了各种薄膜对SO2气体的光学气敏特性,发现在一定条件下制备的SnO2/Pd、VOx薄膜对SO2气体在可见光区有很好的灵敏性,SnO2/Zr薄膜对SO2气体在近红外区有很好的灵敏性.定性地用光学能隙的变化和自由载流子浓度的变化说明了薄膜在吸附气体后的光学性质的变化.
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