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埋沟道P沟CCD红外信号处理器件的研制
埋沟道P沟CCD红外信号处理器件的研制
来源 :四川真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tangtang4211
【摘 要】
:
采用三相埋沟结构,研制成了2×64位埋沟道P沟CCD红外信号处理器件。该器件采用埋沟和三层多晶硅技术,其动态范围达到45dB,转移效率≥99.995%,工作频率≥3MHz。本文对该器件的工
【作 者】
:
程开富
刘心莲
【机 构】
:
重庆光电技术研究所
【出 处】
:
四川真空
【发表日期】
:
2001年2期
【关键词】
:
红外信号处理器件
工作频率
动态范围
转移效率
埋沟道P沟CCD
工作原理
设计
制作工艺
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采用三相埋沟结构,研制成了2×64位埋沟道P沟CCD红外信号处理器件。该器件采用埋沟和三层多晶硅技术,其动态范围达到45dB,转移效率≥99.995%,工作频率≥3MHz。本文对该器件的工作原理,设计和制作工艺作了详细的介绍。
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