绝缘表面液膜检测电容传感器的几何参数研究

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设计了多螺旋盘形相邻电容传感器,并分析了传感器几何参数设计对其测量性能的影响。与传统的阵列式、多环式相邻电容传感器在同等测量环境下进行测量,对各相邻电容传感器分别进行电场分布仿真和边缘电容测量值测量,并进行比较分析,确定了包括极板间距、面积与形状等传感器几何参数传感器性能的具体影响。实验结果表明,复杂传感器结构能够提高电容传感器的测量线性度、测量信号强度以及测量灵敏度等性能。
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