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通过溶胶-凝胶方法，利用有机硅烷（GLYMO）和正硅酸乙酯（TEOS）复合，制备出有机改性硅酸盐材料（ORMOSILS）。该材料适合复制微光学元件，凝胶网络组成分析和相分离研究表明TEOS的预水解对材料性能的重要性。柱面透镜复制结果显示，复制的微光学元件基本保持母版的周期，纵向复制相对误差10%。ORMOSILS突破纯溶胶-凝胶的膜厚极限，避免凝胶干燥收缩引起尺寸的偏差。