【摘 要】
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利用集成电路演变而来的微加工技术研制的微型陀螺,便于批量生产。其成本低,质量轻,抗冲击。该文介绍了石英微陀螺的基本结构和工作原理,叙述了石英晶体化学各向异性刻蚀的工
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利用集成电路演变而来的微加工技术研制的微型陀螺,便于批量生产。其成本低,质量轻,抗冲击。该文介绍了石英微陀螺的基本结构和工作原理,叙述了石英晶体化学各向异性刻蚀的工作机理和加工方法。利用化学各向异性刻蚀加工技术,研制出微型陀螺样机,其主要技术指标：零偏稳定性为15（°）/h,线性度为0.05% ,分辨率为0.008 （°）/s,带宽为50Hz。
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