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美国IBM于瑞士当地时间2008年6月5日公布了在三维（3D）层叠LSI裸片之间通水以使其冷却的LSI冷却技术。该技术可以从裸片缝隙间吸走热量，从而高效地使发热量大的3D层叠LSI冷却。此次试制的面积为1cm3的LSI，在层叠裸片之间纵向设置了高100μm的冷却层，并制成了50μm粗的水路。
IBM开发出在层叠LSI缝隙间通水的冷却技术
【摘 要】
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美国IBM于瑞士当地时间2008年6月5日公布了在三维（3D）层叠LSI裸片之间通水以使其冷却的LSI冷却技术。该技术可以从裸片缝隙间吸走热量，从而高效地使发热量大的3D层叠LSI冷却。此
【出 处】
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机电工程技术
【发表日期】
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2008年7期
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