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<正> 从前,光刻技术作为照像制版技术应用于印刷工业。但近年来由于电子工业的发展,光刻技术更加引人重视,因而发展较为迅速。在电子工业中最初应用光刻技术的是P·艾斯勒的印刷线路板。随后是美国无线电公司(RCA)把它应用于彩色电视显象管障板的研究、高频台式晶体管蒸发掩模和平面晶体管的制造,从而光刻技术的实用性就更大了。现已成为电子工业骨干的集成电路、中规模集成电路和大规模集成电路等基本工艺中更充分利用光刻的高精度和精细的加工性能。