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期刊论文
基于MEMS工艺的声表面波化学毒剂传感器
基于MEMS工艺的声表面波化学毒剂传感器
来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bands007
【摘 要】
:
阐述了声表面波(SAW)传感器的结构与工作原理;介绍了采用MEMS技术加工传感器芯片和敏感膜固定化的关键工艺;给出并分析了传感器的主要特性.试验和测试结果表明:传感器具有灵
【作 者】
:
施云波
张洪泉
董新平
郭建英
【机 构】
:
哈尔滨理工大学,哈尔滨理工大学
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
2005年9期
【关键词】
:
化学毒剂
声表面波
传感器芯片
敏感膜固定化
chemical toxic
SAW( surface acoustic wave)
sensor chi
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阐述了声表面波(SAW)传感器的结构与工作原理;介绍了采用MEMS技术加工传感器芯片和敏感膜固定化的关键工艺;给出并分析了传感器的主要特性.试验和测试结果表明:传感器具有灵敏度高、响应速度快、抗汽油干扰等特点.
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