电子束环氧基负胶的曝光反应机理分析

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【摘要】

：

从高分子辐射化学的角度对电子束环氧基负胶曝光的实际反应机理进行了深入的分析研究.通过Charlesby-Pinner关系式推导得出辐射交联反应中一些表征量(溶胶分数等)与辐射剂量

【作者】

：

卢文娟张玉林孔祥东

【机构】

：

山东大学

【出处】

：

微细加工技术

【发表日期】

：

2007年5期

【关键词】

：

电子束负胶环氧基团辐射交联溶胶分数 charlesby-Pinner关系式 e-beam negative resist epoxy group radi

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从高分子辐射化学的角度对电子束环氧基负胶曝光的实际反应机理进行了深入的分析研究.通过Charlesby-Pinner关系式推导得出辐射交联反应中一些表征量(溶胶分数等)与辐射剂量的定量关系.通过SDS-Ⅱ型曝光机对环氧Epoxy1618进行曝光实验,验证了上述结论的准确性,该论证结果用于指导电子束曝光参数的选取.

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