【摘 要】
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研究在Zn（NO3）2／NaOH和Zn（NO3）2／NH3H2O水溶液体系中ZnO薄膜的生长条件。通过X射线衍射仪和扫描电镜对薄膜进行了表征。两种碱性体系生长的薄膜是六方纤锌矿结构：晶体垂直于衬底沿（00
【机 构】
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河北工业大学材料学院,天津大学材料学院
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研究在Zn（NO3）2／NaOH和Zn（NO3）2／NH3H2O水溶液体系中ZnO薄膜的生长条件。通过X射线衍射仪和扫描电镜对薄膜进行了表征。两种碱性体系生长的薄膜是六方纤锌矿结构：晶体垂直于衬底沿（002）方向择优生长，随着生长溶液浓度的增大，薄膜柱晶的直径会逐渐增大。NaOH系统生长的ZnO薄膜厚度较薄，致密度较小，NH3H2O系统生长的薄膜中棒晶排列较为密集。对于NaOH生长系统，锌的浓度由于受到限制，导致生长的柱晶直径较小。氨水系统中由于[Zn（NH3）4]^2＋的缓冲作用，获得的ZnO晶粒直径可
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