快速刀具伺服系统加工误差的超前补偿修正

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快速刀具伺服系统(fast tool servo,FTS)能够用于复杂面形或微结构工件的精密高效加工,但由于运动惯性和控制信号延迟的影响,将会产生加工误差。根据系统传递函数的幅频、相频特性,采用预期迭代学习控制算法设计了超前补偿器,通过对超前步长和超前增益进行规划,克服了幅值衰减和响应延迟的影响,实现刀具位移的精准输出;对波长70μm的二维正弦面阵进行加工实验,测试结果表明实际面形与设计参数基本一致,偏差小于PV 0.12μm,达到了预期的指标要求。
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