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期刊论文
基片光学特性对薄膜光强透过谱的影响
基片光学特性对薄膜光强透过谱的影响
来源 :物理实验 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liu_kai5189
【摘 要】
:
在考虑基片与空气界面反射率以及基片吸收不能忽略的情况下,对常见的基片上薄膜的光强透过率公式进行了修正,导出了该情况下的透过率公式.以非晶硅薄膜为研究对象,采用模拟计
【作 者】
:
余云鹏
林舜辉
黄翀
林璇英
【机 构】
:
汕头大学
【出 处】
:
物理实验
【发表日期】
:
2004年5期
【关键词】
:
薄膜
光强透过谱
基底
反射率
非晶硅薄膜
film transmission spectrum substrate
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在考虑基片与空气界面反射率以及基片吸收不能忽略的情况下,对常见的基片上薄膜的光强透过率公式进行了修正,导出了该情况下的透过率公式.以非晶硅薄膜为研究对象,采用模拟计算说明基片光学特性对薄膜光强透过谱的影响.
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