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在考虑基片与空气界面反射率以及基片吸收不能忽略的情况下,对常见的基片上薄膜的光强透过率公式进行了修正,导出了该情况下的透过率公式.以非晶硅薄膜为研究对象,采用模拟计算说明基片光学特性对薄膜光强透过谱的影响.
基片光学特性对薄膜光强透过谱的影响
【摘 要】
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在考虑基片与空气界面反射率以及基片吸收不能忽略的情况下,对常见的基片上薄膜的光强透过率公式进行了修正,导出了该情况下的透过率公式.以非晶硅薄膜为研究对象,采用模拟计
【机 构】
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汕头大学
【出 处】
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物理实验
【发表日期】
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2004年5期
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