【摘 要】
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早在40年代,K.R.Shoulders就提出了真空微电子器件的一些新设想.1961年发表了真空微电子器件的系统的论证文章.其后SRI开展了系统的研究工作,直到 1988年6月在美国召开了首届
【机 构】
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机电部十二研究所,机电部十二研究所
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早在40年代,K.R.Shoulders就提出了真空微电子器件的一些新设想.1961年发表了真空微电子器件的系统的论证文章.其后SRI开展了系统的研究工作,直到 1988年6月在美国召开了首届国际真空微电子学会议.它标志着一个新学科—真空微电子学的诞生.目前这一领域强烈地吸引着各国科学家的注意,掀起了一个研究的热潮.人们认为,这是继电子管,半导体器件之后的第三代新型电子器件.它将成为21世纪初的重要电子器件之一,对未来电子技术的发展有着深远的影响.
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