材料帮助图形成像以解决PPAC中的矛盾

来源 :中国电子商情(基础电子) | 被引量 : 0次 | 上传用户：uuuuuuuu

【摘要】

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在半导体产业的黄金时代,当戈登·摩尔还在为自己的公司制定路线图时,平面尺寸的缩小就带来了功耗、性能和面积/成本的同步进步(PPAC)。但随着时间的推移,登纳德平面尺寸缩小定律对功耗的帮助受阻,而材料工程开始应用于半导体制造,以促进功耗、性能和面积/成本的持续提高。其中,高K值金属栅极就是一个最有力的例证。目前,工程师们普遍承认这种矛盾:设计工

【作者】

：

Regina Freed

【出处】

：

中国电子商情(基础电子)

【发表日期】

：

2020年07期

【关键词】

：

半导体制造金属栅极半导体产业尺寸缩小路线图黄金时代

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