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期刊论文
高性能薄膜压力传感器设计与工艺
高性能薄膜压力传感器设计与工艺
来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pboss
【摘 要】
:
介绍了基于离子束溅射工艺,生产高性能薄膜压力传感器的设计与工艺要点,提供实例及若干关键数据.
【作 者】
:
王兴业
【机 构】
:
国防科技大学航天技术系
【出 处】
:
仪表技术与传感器
【发表日期】
:
1997年11期
【关键词】
:
离子束溅射
压力传感器
薄膜压力传感器
Thin Film
Ion-Beam Sputter
Pressure Transducer.
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介绍了基于离子束溅射工艺,生产高性能薄膜压力传感器的设计与工艺要点,提供实例及若干关键数据.
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