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2011年临床肿瘤学重大进展——美国临床肿瘤学会年度报告
【出 处】
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循证医学
【发表日期】
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2020年1期
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如何实现CuInSeE(CIS)薄膜太阳电池大面积产业化和低成本一直是研究热点。现在比较成熟的产业化工艺是溅射后硒化工艺,它具有设备简单,所制备薄膜均匀性较好等优点。但后硒化过程中硒源的问题始终困难重重。硒化氢(H2Se)为剧毒气体,以它作为硒源会带来严重的生产安全问题,而固态硒源会造成硒化过程中硒压不足。掺硒预置层及无硒源热退火工艺则不仅沿袭了溅射后硒化工艺的优点,而且有效克服了参与反应的硒不足
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