微机电器件的稳健设计

来源 :工程设计学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liuhongyu1984

【摘要】

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微机电系统(MEMS)是一个新兴的跨学科研究领域,成本和可靠性是MEMS商品化的关键.与传统的机械加工和IC加工相比,MEMS加工的尺寸偏差比较大,而且很难控制,因此需要在设计过程

【作者】

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杨涛何叶魏东梅李磊民

【机构】

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西南科技大学

【出处】

：

工程设计学报

【发表日期】

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2004年3期

【关键词】

：

微机电系统微加工稳健设计 Taguchi设计优化 MEMS micromachining robust design Taguchi design

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微机电系统(MEMS)是一个新兴的跨学科研究领域,成本和可靠性是MEMS商品化的关键.与传统的机械加工和IC加工相比,MEMS加工的尺寸偏差比较大,而且很难控制,因此需要在设计过程中充分考虑加工的不确定性.稳健设计可以在不提高制造成本的前提下提高设计方案的稳健性.稳健优化设计方法主要包括Taguchi方法和基于容差模型的方法,后者特别适合于处理带约束的优化设计问题.以微加速度计和微阀为例给出了稳健设计在MEMS设计中的应用,验证了稳健设计可以显著提高MEMS器件的信噪比.

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