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本文通过大量实验，采用键合及背腐蚀方法研制成功ＳＯＩ光波导，传输损耗仅０．８５ｄＢ／ｃｍ。
BESOI光波导的研制
【摘 要】
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本文通过大量实验，采用键合及背腐蚀方法研制成功ＳＯＩ光波导，传输损耗仅０．８５ｄＢ／ｃｍ。
【机 构】
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西安交通大学电子工程系
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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1996年3期
【基金项目】
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863计划基金
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