【摘 要】
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本文对我国第一台凹面衍射光栅刻划机刀桥机构进行了全面的精度分析.找出了各种原始误差因素;推导出了各原始误差和刻划误差间误差传递方程式;定量地计算了这种刀桥机构所刻
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本文对我国第一台凹面衍射光栅刻划机刀桥机构进行了全面的精度分析.找出了各种原始误差因素;推导出了各原始误差和刻划误差间误差传递方程式;定量地计算了这种刀桥机构所刻光栅的累积误差,周期误差,直线性误差和随机误差.
In this paper, a comprehensive precision analysis of the first concave diffraction grating grating cutter bridge mechanism in our country was carried out, various original error factors were found out, error transfer formulas of each original error and scribing error were deduced, The accumulation of grating raster mechanism such as the cumulative error, periodic error, linearity error and random error.
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