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设计了一种以多晶硅薄膜作为振动膜片的电容式硅微声传感器.通过有限元法(FEM)对传感器建模,并对其进行静力、模态和谐响应分析.模拟分析结果表明此传感器机械灵敏度可达1.81×10-7m/Pa,其频带宽度接近10 kHz.
电容式多晶硅微声传感器的模拟与设计
【摘 要】
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设计了一种以多晶硅薄膜作为振动膜片的电容式硅微声传感器.通过有限元法(FEM)对传感器建模,并对其进行静力、模态和谐响应分析.模拟分析结果表明此传感器机械灵敏度可达1.81
【机 构】
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哈尔滨工业大学MEMS中心
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2004年1期
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