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介绍了改良西门子法生产多晶硅过程中起缓冲作用的大型氯硅烷储罐存在的安全隐患，提出了在氯硅烷储罐上增设冷凝器漏水监测装置的方案，给出了该装置的结构与工艺流程，阐述了其工作原理。在近半年的生产运行当中，漏水监测装置起到了很好的监控作用。
氯硅烷储罐上增设冷凝器漏水监测装置改造
【摘 要】
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介绍了改良西门子法生产多晶硅过程中起缓冲作用的大型氯硅烷储罐存在的安全隐患，提出了在氯硅烷储罐上增设冷凝器漏水监测装置的方案，给出了该装置的结构与工艺流程，阐述了其工
【机 构】
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四川新光硅业科技有限责任公司
【出 处】
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现代化工
【发表日期】
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2011年12期
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