【摘 要】
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电子级多晶硅是制造半导体硅片最基础和最主要的原材料之一,被称为电子信息产业的"粮食",其纯度需达到11N,如此高的纯度对制备技术、检测技术和质量管理都提出了极高的要求。
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电子级多晶硅是制造半导体硅片最基础和最主要的原材料之一,被称为电子信息产业的"粮食",其纯度需达到11N,如此高的纯度对制备技术、检测技术和质量管理都提出了极高的要求。长期以来,电子级多晶硅的制备技术被美、德、日等西方国家封锁,因而我国使用的电子级多晶硅几乎完全依赖进口,存在被"卡脖子"的风险。
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