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期刊论文
Si衬底上Co薄膜氧化观察
Si衬底上Co薄膜氧化观察
来源 :金属学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fongyifei
【摘 要】
:
用透射电子显微镜和X射线衍射方法研究Si衬底上的Co薄膜氧化,发现:在550℃以下,薄膜氧化产物是CoO;在900℃再次进行真空热处理,CoO能转变为硅化物,薄膜氧化,对Co/Si界面硅化物转变有影响。
【作 者】
:
张灶利
肖治纲
【机 构】
:
北京科技大学
【出 处】
:
金属学报
【发表日期】
:
1994年6期
【关键词】
:
薄膜
Co-Si化合物
氧化
film
cobalt-silicide
oxidation
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用透射电子显微镜和X射线衍射方法研究Si衬底上的Co薄膜氧化,发现:在550℃以下,薄膜氧化产物是CoO;在900℃再次进行真空热处理,CoO能转变为硅化物,薄膜氧化,对Co/Si界面硅化物转变有影响。
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