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新型200keV离子注入机
新型200keV离子注入机
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ApexLiuNck
【摘 要】
:
<正> 一、前言新型中能离子注入机(LC—2A 型)的离子光学系统属先分析后加速方式,如图1所示。分析器处于高电位[1],在较低的能量上进行质量分析,再把分析出的离子束加速到最
【作 者】
:
徐道林
【机 构】
:
长沙半导体工艺设备研究所
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
1984年1期
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<正> 一、前言新型中能离子注入机(LC—2A 型)的离子光学系统属先分析后加速方式,如图1所示。分析器处于高电位[1],在较低的能量上进行质量分析,再把分析出的离子束加速到最终能量。这样,既缩小了分析器的尺寸和减轻了它的重量,又降低了X 射线的辐射。
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