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利用离子束辅助沉积工艺,在锗和玻璃基片上制备了高强度ZnS红外增透膜,与直接热蒸发镀相比,降低了基片的沉积温度,改善了膜层的组织结构,提高了膜的机械强度、抗腐蚀性、耐冷热冲击能力和红外透过率。
离子束辅助沉积高强度ZnS红外增透膜
【摘 要】
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利用离子束辅助沉积工艺,在锗和玻璃基片上制备了高强度ZnS红外增透膜,与直接热蒸发镀相比,降低了基片的沉积温度,改善了膜层的组织结构,提高了膜的机械强度、抗腐蚀性、耐冷
【机 构】
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兰州物理所,兰州物理所
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1992年1期
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