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分析了无负载情况下肋环夹持装置和劈刀两个主要因素对超声键合换能系统电学导纳特性的影响情况。分析了压电换能器的等效电路，通过压电换能器的导纳圆图，确定换能器各参数的变化情况。
超声键合换能系统支承状态下导纳特性测量
【摘 要】
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分析了无负载情况下肋环夹持装置和劈刀两个主要因素对超声键合换能系统电学导纳特性的影响情况。分析了压电换能器的等效电路，通过压电换能器的导纳圆图，确定换能器各参数的变
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所,中南大学
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2007年12期
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