高纯氨充装系统及利用其充装高纯氨的充装方法

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申请(专利)号:201610219093.6公开(公告)日:2016-08-17申请(专利权)人:海宁市英德赛电子有限公司摘要:本发明公开了一种高纯氨充装系统及利用该充装系统充装高纯氨的充装方法,充装系统包括产品缓冲罐、产品罐和冷却装置,产品缓冲罐连接高纯氨生产线的采出端,其上装有第一液位计,产品缓冲罐的液相接口通过第一液相管线与产品罐的液相接口连接。
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