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针对（Co0．35Fe0．65）99O1薄膜，研究了两种不同热处理工艺对其磁性能的影响．结果表明：快速循环热处理可以改善高磁矩（Co0．35Fe0．65）99O1薄膜磁性能，在450℃几个快速循环热处理后，沉积薄膜的矫顽力从105下降到3Oe，电阻率下降到70％，a-Fe（Co）相晶粒尺寸可以减小到15～35nm，该处理方法较以往的热处理更能改善软磁薄膜的性能．