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采用磁控溅射法在PET非织造布上制备了不同厚度的纳米结构Ag薄膜，用高度相关函数法对薄膜的原子力显微镜（AFM）图像进行分形维计算，用AFM分析不同厚度纳米结构Ag薄膜形貌及粒径的变化；用网络测试仪测试了不同厚度样品的电磁屏蔽效能。结果表明，随着薄膜厚度的增加，薄膜表面质量提高，分形维增大；电磁屏蔽效能也随分形维的增大而增加。可以认为，分形维能有效地表征薄膜的表面形貌，分形维与导电及屏蔽效能存在明显的对应关系，并可以用分形维优化磁控溅射的工艺条件。