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采用最新技术者往往是高利润获取者，最先采用最新工艺的晶圆厂就能掌控获得利润最高点。为此，KLA—Tencor日前推出两款新型晶圆缺陷监测系统2835和Puma9550、及一款新型电子束再检测系统eDR-5210，以应对客户在3Xnm／2Xnm技术节点上的量测需求。KLA—Tencor首席营销官Brian Trafas表示，“3Xnm／2Xnm节点会有多种多样的缺陷技术问题，不仅严重影响良率而且捕捉到这些缺陷难度很大。本次推出的新机台可为用户量产时带来性能和产能的大幅提升，帮助我们的客户更快的解决难题。”