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用电子束蒸发设备,制备了用于光纤通信等中的GaAs和InP系列双异质结红外发光二级管的减反射介质膜。测量结果表明,对发光波长为0.85μm和0.90μm的GaAlAs/GaAs发光二级管,蒸镀四分之一波长厚的Al2O3减反射膜,输出光功率在50mA和100mA电流注入下,可增加25 ̄35%,最大可增加50%。但对于1.3μm波长的InGaAsP/InP型红外发光二极管,用ZrO2作减反射膜,比用A