【摘 要】
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在分析聚酰亚胺薄膜反射镜面形成型理论的基础上，结合光学系统对反射镜面形的要求，用有限元法求解了薄膜反射镜在一定预应力存在的条件下，受均布载荷作用产生变形的数值解，通过数
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院研究生院
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在分析聚酰亚胺薄膜反射镜面形成型理论的基础上，结合光学系统对反射镜面形的要求，用有限元法求解了薄膜反射镜在一定预应力存在的条件下，受均布载荷作用产生变形的数值解，通过数据拟和给出了反射镜面形，并计算了理论面形与计算面形的误差；以反射镜镜面不同区域施加的载荷为设计变量，薄膜的屈服强度为状态变量，理想面形与计算面形的误差为目标函数，用ANSYS软件对薄膜反射镜面形进行了优化；最后以Zernike多项式为接口对反射镜面形进行了波前拟合，给出了优化前后反射镜的像差，证明了通过对薄膜反射镜施加适当的力场可以得到面形
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