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利用原子力显微术的轻敲模式（TM-AFM），并采用形貌与相位同时成像技术对强流脉冲离子柬（IPIB）辐照前后试样表面进行了系统标征，得到了试样表面的高度像及相位像的衬度。分析结果表明：在高流强密度、多次脉冲条件下，IPIB辐照可使试样表面变得光滑化，从相位像中可以定性分析出辐照后表面硬度也得到一定程度的提高．