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本文通过对荣华二采区10<
Charging Effect in Plasma Etching Mask of Hole Array
【摘 要】
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本文通过对荣华二采区10
【机 构】
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Hefei National Laboratory for Physical Sciences at Microscale and Department of Physics,University o
【出 处】
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黑龙江科技信息
【发表日期】
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2013年6期
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