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光纤MEMS传感器具有抗电磁干扰、耐事故能力强、小型化、精度高等优点.本文介绍基于光纤MEMS传感技术的发展,详细阐述了MEMS光纤传感的系统的组成、原理、关键技术等.
光纤MEMS传感概述
【摘 要】
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光纤MEMS传感器具有抗电磁干扰、耐事故能力强、小型化、精度高等优点.本文介绍基于光纤MEMS传感技术的发展,详细阐述了MEMS光纤传感的系统的组成、原理、关键技术等.
【机 构】
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广东电网有限责任公司中山供电局,广东 中山 528400;广东电网有限责任公司中山供电局,广东 中山 528400;广东电网有限责任公司中山供电局,广东 中山 528400;广东电网有限责任公司中山供
【出 处】
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科技经济导刊
【发表日期】
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2021年24期
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