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  5. ,Low voltage program-erasable Pd-Al2O3-Si capacitors with Ru nanocrystals for nonvolatile memory app

,Low voltage program-erasable Pd-Al2O3-Si capacitors with Ru nanocrystals for nonvolatile memory app

来源 :中国物理B（英文版） | 被引量 : 0次 | 上传用户：tc_b074220
【作 者】
：
Lan Lan Gou Hong-Yan Ding Shi-Jin Zhang Wei 
【机 构】
：
State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai 2004
【出 处】
：
中国物理B（英文版）
【发表日期】
：
2013年11期
【关键词】
：
metal-oxide-semiconductor capacitors nonvolatile memory Ru nanocrystals atomic-l 
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