【摘 要】
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A mathematical model to represent the fluid flow, temperature distribution and mass transferin CVD reactors has been developed. The model is used to predict the
【机 构】
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TheOhioStateUniversityUSA
【出 处】
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Acta Metallurgica Sinica(English Edition)
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A mathematical model to represent the fluid flow, temperature distribution and mass transferin CVD reactors has been developed. The model is used to predict the velocity, temperature,and molar concentration profiles in the tapered annulus of a reactor for
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