【摘 要】
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光波导加速度传感器是一种实用型加速度传感器,目前广泛应用制备光学加速度计的迈克尔逊、马赫-曾德等干涉仪的核心部件都包含3 dB耦合器.3 dB耦合器的设计对光波导加速度传
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光波导加速度传感器是一种实用型加速度传感器,目前广泛应用制备光学加速度计的迈克尔逊、马赫-曾德等干涉仪的核心部件都包含3 dB耦合器.3 dB耦合器的设计对光波导加速度传感器的检测精度尤为重要.介绍了所设计的光波导加速度传感器的工作原理,设计了3 dB耦合器波导的结构和参数,并用光学模拟软件OptiBPM对3 dB耦合器进行模拟.结果表明：所设计的3dB耦合器具有良好性能,符合设计要求.
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